Study of sterilization-treatment in pure and N- doped carbon thin films synthesized by inductively coupled plasma assisted pulsed-DC magnetron sputtering

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标题	Study of sterilization-treatment in pure and N- doped carbon thin films synthesized by inductively coupled plasma assisted pulsed-DC magnetron sputtering 电感耦合等离子体辅助脉冲直流磁控溅射纯碳和掺氮碳薄膜的杀菌处理研究相关领域材料科学纳米晶材料溅射沉积兴奋剂薄膜分析化学（期刊）脉冲直流感应耦合等离子体溅射光电子学等离子体纳米技术化学色谱法量子力学物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.09.142
DOI	10.1016/j.apsusc.2016.09.142 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Amjed Javid; Manish Kumar; Jeon G. Han 出版日期：2017-01-01
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