Conductive SnO2-x thin films deposited by thermal ALD with H2O reactant

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标题	Conductive SnO2-x thin films deposited by thermal ALD with H2O reactant H2O热ALD法制备导电SnO2-x薄膜相关领域材料科学原子层沉积无定形固体退火（玻璃）生产线后端电子迁移率薄膜晶体管光电子学化学工程晶体管薄膜图层（电子）纳米技术复合材料化学结晶学电气工程电压工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111018
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111018 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Gyeong Ryul Lee; Minhyeong Seong; Seon-Chang Kim; Kyeongjin Pyeon; Roy B. Chung 出版日期：2022-06-01
求助人	Clifton 在 2024-09-25 16:19:39 发布自江苏，悬赏 10 积分
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