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标题
Erratum: “Understanding chemical and physical mechanisms in atomic layer deposition” [J. Chem. Phys. 152, 040902 (2020)]
勘误表：“理解原子层沉积中的化学和物理机制”[J.Chem.Phys.152,040902(2020)]
相关领域
原子层沉积 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 纳米技术 工程物理 化学物理 化学 物理 地质学 沉积物 古生物学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0202455
AI链接 aip.org nih.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0202455 doi
其它 期刊：The Journal of Chemical Physics
作者：Nathaniel E. Richey; Camila de Paula; Stacey F. Bent
出版日期：2024-02-26
求助人
嘿嘿 在 2024-09-25 15:03:27 发布自陕西，悬赏 10 积分
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