Thin wafer handling — Study of temporary wafer bonding materials and processes - 科研通

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标题	Thin wafer handling &#x2014; Study of temporary wafer bonding materials and processes 薄片处理。临时晶片键合材料和工艺的研究相关领域薄脆饼材料科学晶片键合胶粘剂热的模具准备过程（计算）晶圆规模集成计算机科学光电子学复合材料晶片切割物理图层（电子）气象学操作系统
网址	https://doi.org/10.1109/3dic.2009.5306550
DOI	10.1109/3dic.2009.5306550 doi
其它	期刊：作者：James Hermanowski 出版日期：2009-09-01
求助人	黄鹏在 2024-07-26 14:48:33 发布自北京，悬赏 10 积分
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