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标题
Structure and Electrical Properties of ZrO2/Al2O3/TiO2 Films Grown Via Atomic Layer Deposition on TiN Electrodes
TiN电极上原子层沉积ZrO2/Al2O3/TiO2薄膜的结构和电学性能
相关领域
材料科学 电介质 原子层沉积 薄膜 电容 基质(水族馆) 图层(电子) 电极 高-κ电介质 结晶 泄漏(经济) 带隙 光电子学 复合材料 纳米技术 化学工程 冶金 化学 工程类 地质学 宏观经济学 物理化学 经济 海洋学
网址
DOI
10.1149/ma2018-01/44/2560 doi
其它 期刊:Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者:Soon Hyung; Cheol Hyun An; Sanghyeon Kim; Dong Gun Kim; Dae Seon Kwon; et al
出版日期:2018-04-13
求助人
启点 在 2024-08-07 17:42:28 发布自山东,悬赏 10 积分
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