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Structure and Electrical Properties of ZrO2/Al2O3/TiO2 Films Grown Via Atomic Layer Deposition on TiN Electrodes
TiN电极上原子层沉积ZrO2/Al2O3/TiO2薄膜的结构和电学性能
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期刊:Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者:Soon Hyung; Cheol Hyun An; Sanghyeon Kim; Dong Gun Kim; Dae Seon Kwon; et al 出版日期:2018-04-13 |
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