Sensitivity enhanced Mems vector hydrophone based on Piezoelectric varying sectioned beams for low frequency underwater sound waves detection

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标题	Sensitivity enhanced Mems vector hydrophone based on Piezoelectric varying sectioned beams for low frequency underwater sound waves detection 基于压电变截面梁的灵敏度增强Mems矢量水听器用于低频水声检测相关领域水听器声学灵敏度（控制系统）水下声音（地理）压电微电子机械系统材料科学物理工程类地质学电子工程光电子学海洋学
网址	https://doi.org/10.22541/au.174172700.05547613/v1
DOI	10.22541/au.174172700.05547613/v1 doi
其它	期刊：Authorea (Authorea) 作者：Sri Lakshmi; Joseph Daniel; V Amirtharaj 出版日期：2025-03-11
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