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Numerical Analysis and Optimization of Power Coupling Efficiency in Waveguide-Based Microwave Plasma Source
波导微波等离子体源功率耦合效率的数值分析与优化
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网址
DOI
10.1109/tps.2011.2163531 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Plasma Science
作者:Helena Nowakowska; M. Jasiński; P. Dębicki; J. Mizeraczyk
出版日期:2011-08-31
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