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Understanding the ion acceleration mechanism in bipolar HiPIMS: the role of the double layer structure developed in the after-glow plasma
了解双极HiPIMS中离子加速机制:在后辉等离子体中发展的双层结构的作用
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Vasile Tiron; Ioana–Laura Velicu 出版日期:2020-01-22 |
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