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 Continuous wavelet transform for micro-component profile measurement using vertical scanning interferometry 连续小波变换用于垂直扫描干涉测量微构件轮廓
相关领域
干涉测量
光学
单色
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斑点图案
白光干涉法
小波变换
小波
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期刊：Optics & Laser Technology 作者：M. Li; Chenggen Quan; Cho Jui Tay 出版日期：2008-10-01 |
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