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 The internal modified layer structure of silicon carbide induced by ultrafast laser and its application in stealth dicing 超快激光诱导碳化硅内部修饰层结构及其在隐身切割中的应用
相关领域
晶片切割
碳化硅
材料科学
激光器
图层（电子）
超短脉冲
硅
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光电子学
纳米技术
复合材料
光学
物理
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| 其它 |
期刊：Precision engineering 作者：Xiaozhu Xie; Tao Liu; Kangle Lv; Yaoan Huang; Yajun Huang; et al 出版日期：2024-05-01 |
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