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 UV-Assisted Nanoimprint Lithography: The Impact of Loading Effect in Silicon on Nanoscale Pattern of Metalens 紫外辅助纳米压印光刻：硅中负载效应对金属透镜纳米级图案的影响
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期刊：Nanoscale advances 作者：Zahrah Alnakhli; Zhiyuan Liu; Feras AlQatari; Haicheng Cao; Xiaohang Li 出版日期：2024-01-01 |
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