Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source

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标题	Surface morphology change of protective film on collector mirror related to implantation of Sn emitted from laser produced plasma in EUV light source 极紫外光源中激光等离子体发射Sn注入相关集热镜保护膜表面形貌变化相关领域极紫外光刻材料科学极端紫外线等离子体无定形固体结晶激光器光学紫外线光电子学形态学（生物学）化学结晶学物理生物有机化学量子力学遗传学
网址	https://doi.org/10.35848/1882-0786/abbea3
DOI	10.35848/1882-0786/abbea3 doi
其它	期刊：Applied Physics Express 作者：Yoshiyuki Honda; Tatsuya Yanagida; Yutaka Shiraishi; Masayuki Morita; Masahiko Andou; et al 出版日期：2020-10-06
求助人	啊哈哈哈在 2024-10-15 12:45:37 发布自吉林，悬赏 10 积分
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