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标题
Laser ablation of thin SiN x layer coated on silicon wafer—evaluation of process performance for PERC solar cell application
硅片上涂覆的薄SiN x层的激光烧蚀——PERC太阳能电池应用的工艺性能评估
相关领域
材料科学 光电子学 硅 算法 激光烧蚀 激光器 分析化学（期刊） 光学 计算机科学 化学 色谱法 物理
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6641/ad3f3f
DOI
10.1088/1361-6641/ad3f3f doi
其它 期刊：Semiconductor Science and Technology
作者：Pinal Rana; Durga Prasad Khatri; Anil Kottantharayil; Deepak Marla
出版日期：2024-04-16
求助人
Peter 在 2025-02-18 09:31:49 发布自浙江，悬赏 10 积分
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