Nucleation and growth during tungsten atomic layer deposition on SiO2 surfaces - 科研通

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标题	Nucleation and growth during tungsten atomic layer deposition on SiO2 surfaces SiO2表面钨原子层沉积过程中的成核与生长
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060900...
DOI	10.1016/s0040-6090(01)00762-3 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：J.W. Elam; C.E. Nelson; R.K. Grubbs; S.M. George 出版日期：2002-07-26
求助人	爱咋咋滴在 2025-02-17 00:11:22 发布自上海，悬赏 10 积分
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