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 Challenges and opportunities of KrF photoresist development for 3D NAND application 三维NAND应用中KrF光刻胶开发的挑战与机遇
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期刊： 作者：Yang Song; Mingqi Li; Jong Park; X. L. Hou; Yusuke Matsuda; et al 出版日期：2020-03-23 |
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