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Effect of Water-Cooling Jacket on Thermal Stress of Large-Diameter Silicon Grown by Czochralski Method
水冷夹套对直拉法生长大直径硅热应力的影响
相关领域
材料科学
硅
热的
复合材料
压力(语言学)
直拉法
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物理
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期刊:Silicon 作者:Luxi Li; Xiaohan Wan; Wenhui Ma; Shaoyuan Li; Shicong Yang 出版日期:2024-04-29 |
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