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[高分] Edge facet dynamics during the growth of heavily doped n-type silicon by the Czochralski-method
Czochralski法生长重掺杂n型硅的边缘刻面动力学
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:L. Stockmeier; C. Kranert; G. Raming; Alfred Miller; C. Reimann; et al 出版日期:2018-06-01 |
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