Electrical properties of single-crystal VO2(M) by RF magnetron sputtering

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标题	Electrical properties of single-crystal VO2(M) by RF magnetron sputtering 射频磁溅镀法制备VO 2（M）晶体的电性能相关领域材料科学溅射沉积溅射光电子学单晶无线电频率 Crystal（编程语言）高功率脉冲磁控溅射腔磁控管核磁共振纳米技术薄膜电信计算机科学物理程序设计语言
网址	http://dx.doi.org/10.1007/s10854-024-13754-3
DOI	10.1007/s10854-024-13754-3 doi
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