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 Chlorine-Assisted Growth of Epitaxial InGaN and AlGaN Crystals at Low Temperatures Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition 低温氯辅助生长等离子体增强化学蒸汽沉积法生长磊晶和LGA晶体
相关领域
氯
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期刊：Crystal Growth & Design 作者：Chun-Wei Chuang; Franklin Chau-Nan Hong 出版日期：2022-12-21 |
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