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 Nanosecond laser writing of straight and curved waveguides in silicon with shaped beams 用整形光束在硅中直和弯波导中的纳秒激光写入
相关领域
材料科学
光学
纳秒
波长
硅
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薄脆饼
激光器
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期刊：Journal of Laser Applications 作者：Xinya Wang; Xiaoming Yu; Matthew J. Berg; B. D. DePaola; Hongyu Shi; et al 出版日期：2020-03-04 |
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