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Origin of the High Density of Oxygen Vacancies at the Back Channel of Back-Channel-Etched a-InGaZnO Thin-Film Transistors
背沟道刻蚀a-InGaZnO薄膜晶体管背沟道高密度氧空位的起源
相关领域
材料科学
薄膜晶体管
蚀刻(微加工)
光电子学
晶体管
不稳定性
制作
图层(电子)
X射线光电子能谱
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医学
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