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 Study of Surface Processes in the Digital Etching of GaAs GaAs数字刻蚀表面工艺研究
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Masashi Ishii; Takashi Meguro; Hirokazu Kodama; Y. Yamamoto; Yosinobu Aoyagi 出版日期：1992-07-01 |
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