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热原子层沉积钛掺杂氧化镓薄膜的光学性能
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计算机科学
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期刊:Acta Photonica Sinica 作者:李存钰 LI Cunyu; 朱香平 ZHU Xiangping; 赵卫 ZHAO Wei; 李继超 LI Jichao; 胡景鹏 HU Jingpeng 出版日期:2023-01-01 |
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