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Influence of Ar-impurities on the wettability of IBS-deposited Y2O3 thin films
Ar杂质对IBS沉积Y2O3薄膜润湿性的影响
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期刊:Applied Surface Science 作者:Thomas Gischkat; M. Döbeli; Andreas Bächli; Roelene Botha; Z. Balogh 出版日期:2021-08-10 |
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