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Quality improvement of SiC single crystal by modification of hot zone design adoption with denser graphite insulation in PVT growth
PVT生长中改进热区设计采用致密石墨绝缘提高SiC单晶质量
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期刊:Journal of the Korean Physical Society 作者:Seung Jun Lee; Su Ho Kim; Chae Young Lee; Jong Hwi Park; Jung Woo Choi; et al 出版日期:2024-12-26 |
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