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标题
Roughening of the Si/SiO2 interface during SC1-chemical treatment studied by scanning tunneling microscopy
扫描隧道显微镜研究SC1-化学处理过程中Si/SiO2界面的粗糙化
相关领域
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网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/18/4/2165/11293552/...
DOI
10.1116/1.1303856 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：M. Gotoh; K. Sudoh; H. Iwasaki
出版日期：2002-07-27
求助人
闻道者 在 2024-12-26 09:18:28 发布自湖北，悬赏 10 积分
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