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标题
Roughening of the Si/SiO2 interface during SC1-chemical treatment studied by scanning tunneling microscopy
扫描隧道显微镜研究SC1-化学处理过程中Si/SiO2界面的粗糙化
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网址
DOI
10.1116/1.1303856 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者:M. Gotoh; K. Sudoh; H. Iwasaki
出版日期:2002-07-27
求助人
闻道者 在 2024-12-26 09:18:28 发布自湖北,悬赏 10 积分
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