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Ultrafast-response H2S MEMS gas sensor based on double phase In2O3 monolayer particle film
基于双相In2O3单层粒子膜的超快响应H2S MEMS气体传感器
相关领域
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期刊:Sensors and Actuators B-chemical 作者:Yanlin Zhang; Zheng Zhang; Guoliang Lv; Yu Zhang; Jintao Chen; et al 出版日期:2024-08-01 |
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