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 Ultralow‐Power Piezo‐Optomechanically Tuning on CMOS‐Compatible Integrated Silicon‐Hafnium‐Oxide Platform CMOS兼容集成硅氧化铪平台上的超低功率压电光机调谐
相关领域
铪
CMOS芯片
光子学
硅光子学
硅
材料科学
光电子学
电子工程
工程类
锆
冶金
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| 其它 |
期刊：Laser & Photonics Review 作者：Jian Shen; Yuyan Fan; Zihan Xu; Liying Wu; Ying Wang; et al 出版日期：2022-12-11 |
| 求助人 | |
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