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Non-reactive HiPIMS deposition of NbCx thin films: Effect of the target power density on structure-mechanical properties
NbCx薄膜的非反应HiPIMS沉积：靶功率密度对结构-力学性能的影响
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 弹性后坐力检测 微观结构 复合材料 纳米复合材料 碳化物 溅射沉积 薄膜 分析化学（期刊） 溅射 纳米技术 化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.128674
AI链接 kb.se diva-portal.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.surfcoat.2022.128674 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：A. Bahr; T. Glechner; Tomasz Wójcik; A. Kirnbauer; Markus Sauer; et al
出版日期：2022-07-01
求助人
枯木 在 2025-02-26 11:24:38 发布自重庆，悬赏 10 积分
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