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标题
Vertically Integrated Self‐Monitoring AlGaN‐Based Deep Ultraviolet Micro‐LED Array with Photodetector Via a Transparent Sapphire Substrate Toward Stable and Compact Maskless Photolithography Application
垂直集成自监测AlGaN基深紫外微LED阵列，通过透明蓝宝石衬底实现稳定和紧凑的无掩模光刻应用
相关领域
光刻 材料科学 光电子学 光电探测器 紫外线 蓝宝石 基质（水族馆） 发光二极管 纳米技术 光学 激光器 海洋学 物理 地质学
网址
https://doi.org/10.1002/lpor.202401220
DOI
10.1002/lpor.202401220 doi
其它 期刊：Laser & Photonics Reviews
作者：Huabin Yu; Jikai Yao; Muhammad Hunain Memon; Yuanmin Luo; Zhixiang Gao; et al
出版日期：2024-09-26
求助人
jy 在 2024-10-29 16:38:15 发布自广东，悬赏 10 积分
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