Two-dimensional dopant profiling of ultrashallow junction with off-axis electron holography: A round robin experiment

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标题	Two-dimensional dopant profiling of ultrashallow junction with off-axis electron holography: A round robin experiment 用离轴电子全息术研究超低结的二维掺杂分布：循环法实验相关领域全息术电子全息术放大倍数光学掺杂剂镜头（地质）材料科学电子仿形（计算机编程）显微镜景深光电子学物理计算机科学兴奋剂量子力学操作系统
网址	https://doi.org/10.1116/1.1642648
DOI	10.1116/1.1642648 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Bernhard G. Frost; Alexander Thesen; David C. Joy; Brendan Foran; Karin Brand 出版日期：2004-01-01
求助人	CaiCai 在 2023-12-28 14:01:35 发布自江苏，悬赏 10 积分
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