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 Optimization of temperature coefficient of resistance of Al-doped vanadium oxide thin film prepared by atomic layer deposition for uncooled microbolometer 原子层沉积法制备非制冷微测辐射热计用掺铝氧化钒薄膜电阻温度系数的优化
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期刊：Ceramics International 作者：Hee-Cheol Shin; Le Thai Duy; Hyungtak Seo 出版日期：2022-02-01 |
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