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 ZnO Films Obtained by Reactive Magnetron Sputtering: Microstructure, Electrical, and Optical Characteristics 反应磁控溅射ZnO薄膜的微观结构、电学和光学特性
相关领域
微观结构
材料科学
无定形固体
微晶
电阻率和电导率
溅射沉积
溅射
透射率
电阻和电导
氩
扩展阻力剖面
腔磁控管
Crystal（编程语言）
薄膜
分析化学（期刊）
光电子学
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期刊：Applied solar energy 作者：В. Ф. Гременок; V.A. Ivanov; А. Н. Петлицкий; T. V. Petlitskaya; С. Х. Сулейманов; et al 出版日期：2020-05-01 |
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