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 Influence of ALD Ru bottom electrode on ferroelectric properties of Hf0.5Zr0.5O2-based capacitors ALD Ru底电极对Hf0.5Zr 0.5 O2基电容器铁电性能的影响
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Аnna G. Chernikova; Maxim G. Kozodaev; Roman R. Khakimov; S. N. Polyakov; Andrey M. Markeev 出版日期：2020-11-09 |
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