Effect of reactive gases (NH3/N2) on silicon–nitride thin films deposited with diiodosilane (SiH2I2) precursors

已完结

文献求助详情

标题	Effect of reactive gases (NH3/N2) on silicon–nitride thin films deposited with diiodosilane (SiH2I2) precursors 反应气体（NH3/N2）对用二碘硅（SiH 2 I2）前体沉积的氮硅薄膜的影响相关领域薄膜材料科学氮化硅化学气相沉积硅原子层沉积氮化碳氢氮化物杂质碳膜化学工程氯沉积（地质）分析化学（期刊）图层（电子）纳米技术催化作用化学光电子学有机化学冶金古生物学工程类生物光催化沉积物
网址	https://doi.org/10.1007/s40042-021-00354-1
DOI	10.1007/s40042-021-00354-1 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Baek-Ju Lee; Dongwon Seo; Jae-Wook Choi 出版日期：2021-12-15
求助人	动人的邑在 2024-09-04 16:23:11 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 楚子关发布了新的文献求助20

2秒前; 郭子完成签到，获得积分10

2秒前; 科研通AI5上传了应助文件

2秒前; hoibuoifv完成签到，获得积分20

2秒前; 英俊的铭上传了应助文件

3秒前; 安安完成签到，获得积分10

3秒前; 思源的应助被科研小蔡采纳，获得10

4秒前; 赘婿的应助被Tu采纳，获得10

4秒前; 啾啾zZ完成签到，获得积分10

4秒前; Jasper上传了应助文件

5秒前; 善良西装发布了新的文献求助10

5秒前; 前程似锦完成签到，获得积分10

6秒前; 天天快乐上传了应助文件

7秒前; jdknvoadn完成签到，获得积分20

8秒前; 李健上传了应助文件

8秒前; 愉快的定帮发布了新的文献求助10

9秒前; 张昌贵发布了新的文献求助10

9秒前; 微热山丘发布了新的文献求助10

9秒前; 简单的冬瓜完成签到，获得积分10

10秒前; 彭于彦祖上传了应助文件

10秒前; ren的应助被nini采纳，获得10

11秒前; 科研通AI5上传了应助文件

11秒前; 来杯冰美式完成签到，获得积分10

13秒前; CodeCraft的应助被FG采纳，获得30

13秒前; 脂蛋白抗原上传了应助文件

14秒前; 刘刘刘完成签到，获得积分10

14秒前; 无糖气泡水的应助被敬老院N号采纳，获得10

14秒前; 汉堡包上传了应助文件

14秒前; iu发布了新的文献求助10

14秒前; 迟大猫的应助被ssssss采纳，获得10

15秒前; 高大凌寒完成签到，获得积分10

16秒前; 星辰大海的应助被Valky采纳，获得10

16秒前; kx发布了新的文献求助10

17秒前; 老实的大白菜真实的钥匙完成签到，获得积分10

18秒前; 充电宝的应助被善良西装采纳，获得10

18秒前; MM发布了新的文献求助10

18秒前; 奋斗佳裕关注了科研通微信公众号

18秒前; 儒雅一凤完成签到，获得积分10

19秒前; 胡图图完成签到，获得积分20

20秒前; maox1aoxin上传了应助文件

20秒前