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 Avoiding water reservoir effects in ALD of functional complex alkali oxides by using O3 as the oxygen source 以O3为氧源避免功能性复合碱金属氧化物ALD中的贮水效应
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期刊：Dalton Transactions 作者：Henrik Hovde Sønsteby; Veronica A.-L. K. Killi; Linn M. Rykkje; Justin R. Bickford; Eric G Martin; et al 出版日期：2022-01-01 |
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