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标题
Ultralow-Supersaturation Al Pretreatment toward Low Dislocation Density and Low Radio Frequency Loss GaN/AlN Epi-Stacks on High-Resistivity Si Substrates
高电阻率Si衬底上低位错密度和低射频损耗GaN/AlN外延叠层的超低过饱和度Al预处理
相关领域
过饱和度 位错 成核 材料科学 聚结(物理) 无线电频率 光电子学 合金 制作 图层(电子) 复合材料 化学 电气工程 物理 工程类 病理 天体生物学 有机化学 医学 替代医学
网址
DOI
10.1021/acsaelm.2c00747 doi
其它 期刊:ACS applied electronic materials
作者:Zidong Cai; Xiaoyang Yang; Cheng Ma; Zhenghao Chen; Danshuo Liu; et al
出版日期:2022-07-29
求助人
和平发展 在 2024-08-16 09:02:16 发布自湖北,悬赏 10 积分
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