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 Fabrication of micro pits based on megasonic assisted through-mask electrochemical micromachining 基于兆超声辅助穿透掩模电化学微加工的微凹坑制造
相关领域
材料科学
电解质
机械加工
表面微加工
制作
蚀刻（微加工）
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期刊：Ultrasonics 作者：Ke Zhai; Liqun Du; Yikui Wen; Shuxuan Wang; Qiang Cao; et al 出版日期：2020-01-01 |
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