Composition limited hydrogen effusion rate of a-SiNx:H passivation stack

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标题	Composition limited hydrogen effusion rate of a-SiNx:H passivation stack a-SiNx：H钝化堆叠的成分限制氢渗出速率相关领域氢材料科学钝化堆栈（抽象数据类型）化学气相沉积分析化学（期刊）氮化硅硅图层（电子）等离子体增强化学气相沉积纳米技术化学光电子学有机化学计算机科学色谱法程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1063/1.5123853
DOI	10.1063/1.5123853 doi
其它	期刊：AIP conference proceedings 作者：Sahar Jafari; Jens Hirsch; Dominik Lausch; Marco John; Norbert Bernhard; et al 出版日期：2019-01-01
求助人	zhengling 在 2024-07-16 14:55:16 发布自陕西，悬赏 10 积分
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