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 Residual Stress Characterization in Microelectronic Manufacturing: An Analysis Based on Raman Spectroscopy 微电子制造中的残余应力表征：基于拉曼光谱的分析
相关领域
残余应力
微电子
表征（材料科学）
拉曼光谱
材料科学
航空航天
压力（语言学）
可靠性（半导体）
工程物理
机械工程
纳米技术
复合材料
光学
工程类
计算机科学
航空航天工程
物理
语言学
哲学
功率（物理）
量子力学
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期刊：Laser & Photonics Reviews 作者：Zhoudong Yang; Xinyue Wang; Wei Chen; Hongyu Tang; Rongjun Zhang; et al 出版日期：2024-04-20 |
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