Patterning chalcogenide glass by direct resist-free thermal nanoimprint

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标题	Patterning chalcogenide glass by direct resist-free thermal nanoimprint 直接无抗蚀剂热纳米压印法构图硫系玻璃相关领域材料科学微晶微观结构硫系化合物纳米压印光刻复合材料热稳定性肺表面活性物质纳米技术化学工程光电子学制作冶金医学工程类病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1116/1.2890699
DOI	10.1116/1.2890699 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Mehmet E. Solmaz; Hyung-Seok Choi Park; Christi K. Madsen; Xing Cheng 出版日期：2008-03-01
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