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Electrochemical Strategy for High‐Resolution Nanostructures in Laser‐Heat‐Mode Resist Toward Next Generation Diffractive Optical Elements
面向下一代衍射光学元件的激光热模式抗蚀剂中高分辨率纳米结构的电化学策略
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期刊:Small 作者:Zhengwei Wang; Guodong Chen; Ming Wen; Xutao Hu; Xing Liu; et al 出版日期:2022-03-23 |
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