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  Preparation and Properties of In-doped Amorphous SiC:H Films by Co-sputtering 共溅射制备In掺杂非晶SiC：H薄膜及其性能
相关领域
溅射
无定形固体
材料科学
兴奋剂
化学工程
光电子学
纳米技术
结晶学
薄膜
化学
工程类
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| 其它 |
期刊：SHINKU 作者：Yasuhiko INUI; Nobuo SAITO; Tomuo YAMAGUCHI 出版日期：2011-06-09 |
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