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标题
Low-loss and low-temperature Al2O3 thin films for integrated photonics and optical coatings
用于集成光子学和光学涂层的低损耗低温Al2O3薄膜
相关领域
光子学 材料科学 薄膜 光电子学 工程物理 光学 纳米技术 物理
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003976
DOI
10.1116/6.0003976 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Pooya Torab Ahmadi; Michaël Chesaux; Jacek Wójcik; Dino Deligiannis; Peter Mascher; et al
出版日期：2024-10-01
求助人
沐雨疏桐 在 2025-04-02 07:32:31 发布，悬赏 10 积分
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