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标题
XPS analysis and electrical conduction mechanisms of atomic layer deposition grown Ta2O5 thin films onto p-Si substrates
p-Si衬底原子层沉积Ta2O5薄膜的XPS分析及导电机理
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1116/1.5134764
DOI
10.1116/1.5134764 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Spyridon Korkos; N. Xanthopoulos; Martha A. Botzakaki; Charalampos Drivas; S. Kennou; et al
出版日期：2020-03-13
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满意草丛 在 2025-04-28 10:14:24 发布自山东，悬赏 10 积分
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