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标题
Novel X-ray Microscopic Chemical Imaging for Rapid Non-Destructive Identification of Structural and Compositional Defects from Microbumps to FinFET
新型X射线显微化学成像技术用于快速无损识别从微凸块到fin场效应晶体管的结构和成分缺陷
相关领域
薄脆饼 材料科学 小型化 抵抗 纳米技术 纳米尺度 计量学 表征（材料科学） 光电子学 电子工程 光学 工程类 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2019p0397
DOI
10.31399/asm.cp.istfa2019p0397 doi
其它 期刊：Proceedings
作者：S. H. Lau; Benjamin Stripe; Sylvia Lewis; Xiaolin Yang; Wenbing Yun
出版日期：2019-12-01
求助人
动漫大师 在 2025-03-21 15:03:33 发布自北京，悬赏 10 积分
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