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标题
Effect of silicon nitride coating thickness on fatigue of silicon microbeams
氮化硅涂层厚度对硅微梁疲劳的影响
相关领域
氮化硅 材料科学 硅 涂层 复合材料 氮化物 光电子学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.measurement.2013.12.003
DOI
10.1016/j.measurement.2013.12.003 doi
其它 期刊：Measurement
作者：Hsien‐Kuang Liu; Huann-Der Wu
出版日期：2013-12-14
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寒冷妙梦 在 2024-11-02 19:07:50 发布自天津，悬赏 10 积分
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