The bottleneck and innovation key of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor for petrochemical industry

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标题	The bottleneck and innovation key of MEMS-based metal oxide semiconductors gas sensor for petrochemical industry 石油化工用MEMS金属氧化物半导体气体传感器的瓶颈与创新关键相关领域瓶颈石油化工钥匙（锁）微电子机械系统半导体工业氧化物半导体材料科学纳米技术工程类工艺工程制造工程嵌入式系统废物管理光电子学计算机科学冶金计算机安全
网址	https://doi.org/10.1016/j.cej.2024.151431
DOI	10.1016/j.cej.2024.151431 doi
其它	期刊：Chemical Engineering Journal 作者：Yuxin Zhao 出版日期：2024-04-18
求助人	简单的沛蓝在 2024-10-30 16:58:44 发布自陕西，悬赏 10 积分
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