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 Fast optical and process proximity correction algorithms for integrated circuit manufacturing 用于集成电路制造的快速光学和工艺邻近校正算法
相关领域
算法
计算机科学
光学接近校正
航空影像
过程（计算）
奇异值分解
图像（数学）
计算机视觉
操作系统
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AI链接 psu.edu |
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期刊： 作者：Nicolas B. Cobb; Avideh Zakhor 出版日期：1998-01-01 |
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