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标题
Etching of Silicon Nitride in 3D NAND Structures
三维NAND结构中氮化硅的蚀刻
相关领域
薄脆饼 蚀刻（微加工） 材料科学 氮化硅 毯子 硅 氮化物 光电子学 干法蚀刻 腐蚀坑密度 纳米技术 复合材料 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/ma2015-02/27/1029
DOI
10.1149/ma2015-02/27/1029 doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Derek Bassett; Wallace Printz; Takahiro Furukawa
出版日期：2015-07-07
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斯文的若颜 在 2025-02-05 15:52:46 发布自河北，悬赏 10 积分
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